步进式光刻系统

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描述

技术指标

  • 晶圆尺寸: 6英寸
  • 曝光强度: 600mw/cm²
  • 分辨率: 0.6μm
  • 套刻精度: ±0.08μm
  • 照明均匀性: ±2%
  • 最大曝光面积: 17.5mmX17.5mm

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