金属蒸发

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Description

技术指标

  • 晶圆尺寸: 2, 4, 6英寸晶圆
  • 蒸发金属种类：Ti、Al、Cu、Ni、Au、Cr、Pt等
  • 片内均一性（1 sigma）：≤3%
  • Wafer to Wafer均一性（1 sigma）：≤3%
  • 蒸发速率：0.1A/s-20A/s可调

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