接触式光刻系统

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Description

技术指标

  • 晶圆尺寸: 2, 4, 6英寸晶圆及碎片光刻
  • 分辨率: 1.5μm
  • 正面套刻精度: ±0.5μm
  • 照明均匀性: ±3%

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