压电MEMS微纳加工中心专注于压电MEMS领域新器件的研发和量产服务。该压电MEMS平台立足微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，积极布局先进微电子器件、声电器件、MEMS器件、RF前端器件等领域，以满足电子信息、物联网、小基站、北斗等技术发展对于微纳加工的需求，现已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台，实现了新材料从微米到纳米级别的结构与器件的可控开发、加工与测试，可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。