压电MEMS微纳加工中心

位于南京市江宁区麒麟科创园的压电MEMS微纳加工中心，是一家集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发、量产为一体的综合性平台。

平台设备选型满足6英寸全自动化晶圆及封装测试量产需求，配备有全自动步进式曝光机、多种镀膜形式、多种刻蚀方法以及多功能的表征设备，可为先进微电子、声电、MEMS、射频前端等领域提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

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